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J-GLOBAL ID：201002238940619024   整理番号：10A0682332

シリコン上にボンディングしたInGaAs反転MSMディテクタを使用したハイブリッド長レンジ表面プラズモンの平面集積化光ディテクタ

Planar Integrated Optical Detection of a Hybrid Long-Range Surface Plasmon Using an InGaAs Inverted-MSM Detector Bonded to Silicon

著者 (4件)： DHAR Sulochana (Duke Univ., NC, USA) ,  DEGIRON Aloyse (Duke Univ., NC, USA) ,  SMITH David R. (Duke Univ., NC, USA) ,  JOKERST Nan M. (Duke Univ., NC, USA)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 22  号： 9/12  ページ： 841-843  発行年： 2010年05月01日 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 長レンジ表面プラズモンポラリトン(LRSPP)は非常に低損失で絶縁体-金属-絶縁体構造中を伝搬し,生体センサ等への応用が検討されている。しかしセンサとしては大型となり実用を妨げている。本稿では,InGaAs薄膜反転金属-半導体-金属(I-MSM)フォトディテクタ(PD)をシリコン上の金ハイブリッドLRSPP導波路と集積化して小型化した。3μm幅,25nm厚の単一モード金ハイブリッドLRSPP導波路と85×200×1μmの薄膜InGaAsI-MSM PDである。1.55μmチューナブルレーザを光源に使用して,横方向から光ファイバでLRSPPを励振した。入射光の偏波を変えてPDの光電流を測定し,PDがハイブリッドLRSPPモードを検出したことを確認した。この結果,チップサイズの可搬型プラズモンシステム実現の可能性が確かめられた。

シソーラス用語： *ポラリトン ,  ヒ化ガリウムインジウム ,  *混成集積回路 ,  光検出器 ,  TMモード ,  界面 ,  *平面構造
準シソーラス用語： *InGaAs ,  ハイブリッド集積回路 ,  *フォトディテクタ ,  境界面 ,  *表面プラズモンポラリトン

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (9件)： シリコン ,  ボンディング ,  InGaAs ,  反転 ,  MSM ,  ディテクタ ,  レンジ ,  表面プラズモン ,  集積化