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J-GLOBAL ID：201002239055010728   整理番号：10A0786201

新しい超平坦度,長ストロークで低電圧の圧電マイクロミラー

A novel ultra-planar, long-stroke and low-voltage piezoelectric micromirror

著者 (6件)： BAKKE Thor (SINTEF ICT, Oslo, NOR) ,  VOGL Andreas (SINTEF ICT, Oslo, NOR) ,  ZERO Oleg (SINTEF ICT, Oslo, NOR) ,  TYHOLDT Frode (SINTEF ICT, Oslo, NOR) ,  JOHANSEN Ib-Rune (SINTEF ICT, Oslo, NOR) ,  WANG Dag (SINTEF ICT, Oslo, NOR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 6  ページ： 064010,1-7  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 長年,長い有効ストロークの動作がMEMS構造に対する問題となっていた。マイクロ光学への応用では,特に長いストロークや大きな角度の動作が基本的に必要になる。そこで低電圧で長ストロークのPZTアクチュエーターを使い,垂直に曲げられ,直径3mmまで実現できるマイクロミラーを開発した。2つのデザインを実現した。一つはシングルリングで一方向に曲げられるもの,もう一つはプッシュプルダブルリングアクチュエーターでストロークは2倍になり,上げ下げの動作ができる。最大は20Vで20μmの動作が可能であったが,ヒステリシスが大きかった。ポーリングすることでヒステリシスを減少できたが,動作範囲が9μmに減少した。ミラーの平坦度は2mmの絞りの範囲で15nmよりも小さかった。直径3mmのミラーの場合の振れ角はピストン動作を使って,30nmよりも小さい傾きを実現した。ステップ入力に対する応答を測定することで,このミラーの共振周波数は9.8kHzであった。FTIRやFabry-Perot干渉計などに用いられるマイクロミラーなどに比べて優れた性能を示した。

シソーラス用語： *反射鏡 ,  長さ ,  *ヒステリシス ,  *MEMS ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  アクチュエータ ,  平坦性
準シソーラス用語： *MEMSミラー ,  ストローク【長さ】

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 平坦度 ,  ストローク ,  低電圧 ,  圧電 ,  マイクロミラー