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J-GLOBAL ID：201002239254681488   整理番号：10A0552711

柔軟性のあるカーボンナノチューブ光センサーアレイ

FLEXIBLE CARBON NANOTUBES PHOTOSENSOR ARRAY

著者 (2件)： LIN Chia-Min (National Tsing Hua Univ., TWN) ,  FANG Weileun (National Tsing Hua Univ., TWN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 184-187  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,光検出のための柔軟性のあるカーボンナノチューブ(CNT)について報告する。柔軟性のあるCNT-ポリマー複合材デバイスの製造技術は低温度成長,スタンプ転写,液体高分子成形のように多数あるが,これら既存技術はいくつかの欠点を持っていた。本研究では,柔軟性のあるCNT光センサーアレイの正確なパターニングおよびバッチ製造を可能にするCNT-MEMSプロセスを確立する。ここでは,光検出のためのCNTをバッチ製造マイクロマシニングプロセスを用いて柔軟性のあるPartlene-C膜に埋め込む。柔軟性を立証するため,パターン化されたCNTアレイを高温加熱炉内でシリコン基材上に成長させ,次いでParylene-膜上に転写した。計測の結果,出力光電流は入力光強度に比例的に変化することを示し,CNTの量子効率は大気圧下でおよそ0.063%,3mTorrの真空中で1.93%に達した。

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  光センサ ,  *柔軟性 ,  生産技術 ,  *MEMS ,  ポリキシリレン ,  塩素化重合体 ,  光電流
準シソーラス用語： パリレンC ,  *光センサーアレイ ,  製造技術

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： カーボンナノチューブ ,  光センサー ,  アレイ