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J-GLOBAL ID：201002239467765065   整理番号：10A0846154

1ステップ選択化学ウェットエッチングによりパターン化した単結晶Fe要素

Single crystal Fe elements patterned by one-step selective chemical wet etching

著者 (11件)： SUN Li (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  SUN Li (Univ. York, York, GBR) ,  WONG Ping Kwan Jonny (Univ. York, York, GBR) ,  WONG Ping Kwan Jonny (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  NIU Daxin (Univ. York, York, GBR) ,  ZOU Xiao (Univ. York, York, GBR) ,  ZHAI Ya (Southeast Univ., Nanjing, CHN) ,  ZHAI Ya (Univ. York, York, GBR) ,  WU Jing (Univ. York, York, GBR) ,  XU Yongbing (Univ. York, York, GBR) ,  ZHAI Hongru (Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 43  号： 29  ページ： 295002,1-4  発行年： 2010年07月28日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GaAs(100)/Fe/Au膜を分子ビームエピタクシーにより調製した。Fe膜厚は12,25ML,Auは3nmである。Au層をフォトリソグラフィーとウェット化学エッチングにより1ステップでパターン化し,強磁性Feも同時にパターン化する技術を開発した。集束磁気光学Kerr効果(MOKE)測定と強磁性共鳴を測定した。パターニングによって,固有の磁気異方性は変化しないことを確かめた。

シソーラス用語： *鉄 ,  単結晶 ,  MBE成長 ,  フォトリソグラフィー ,  エッチング ,  *Kerr効果 ,  強磁性共鳴 ,  磁気異方性 ,  *磁化特性 ,  磁気ヒステリシス ,  パターン形成 ,  *ナノ構造 ,  ウェットエッチング

分類 (2件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T) ,  電気光学効果,磁気光学効果  (BM08020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学 ,  ウェットエッチング ,  単結晶 ,  Fe ,  要素