文献

J-GLOBAL ID：201002240355059735   整理番号：10A0950047

単層薄膜のむらの視覚化手法

A Visualization Method of Uneven Areas on Single Layer Thin Films

著者 (4件)： 柏木利幸 (徳島県立工業技術センター) ,  檜垣真二 (浜松メトリックス(株)) ,  宮脇俊幸 (浜松メトリックス(株)) ,  大恵俊一郎 (四国大学)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 130  号： 9  ページ： 1530-1536 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,フィルタや平面ディスプレイ材料,半導体材料などに形成された単層薄膜のむらの視覚化手法を提案する。最近では数ナノメートル以下の膜厚差が問題となる微弱むらがあり,熟練の検査員でも判別が難しく,これまで以上の検出感度を有する検査装置が望まれている。本研究では微弱むらのインライン検査への前段階として,検査角度を選択して微弱むらを感度良く検出し,視覚化する手法を提案する。まず,膜厚,検査角度,波長と干渉強度の関係を説明し,3波長狭帯域光源とカラーラインセンサカメラを用いて最適な検出角度を設定して感度良くむらの撮影を行う方法を示す。3波長それぞれの膜厚による干渉強度の変化は色むらとして観祭される。つぎに,取得したカラー画像を用いて, 色の出現頻度を表す頻度画像を作成し,頻度画像を利用して検査対象物の均一領域を抽出する。さらに,この均一領域を基準として,むらの強度分布の視覚化を行う。視覚化はカラー画像と濃淡画像を利用する2つの方法を考案した。本手法を,シリコンウェハに形成された酸化膜100nmと1000nmに対してむらの視覚化の実験を行つたところ,計測値と似かよったむらの強度分布を得ることができ,視覚的に微弱むらを確認することができた。

シソーラス用語： *むら ,  *可視化 ,  *薄膜 ,  検査 ,  干渉 ,  ウエハ【IC】 ,  酸化膜
準シソーラス用語： シリコンウエハ

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (16件)：

• (1) 「透明膜の検査方法」:特開平10-38753
• (2) 「膜厚ムラ検査方法」:特開平2007-114125
• (3) 「着色膜厚ムラ検査方法および装置」:特開平2007-205743
• (4) 「反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法」:特開平2007-10403
• (5) 「膜厚むら検査装置,膜厚むら検査方法および膜厚むら検査プログラム」:特開平2003-166941A

タイトルに関連する用語 (5件)： 単層 ,  薄膜 ,  むら ,  視覚化 ,  手法