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J-GLOBAL ID：201002240608112468   整理番号：10A1379327

反応陰極アーク蒸着で析出されたAl-Cr-Oコーティングの合成におけるターゲット表面と層の核の生成との相関関係

Correlation between target surface and layer nucleation in the synthesis of Al-Cr-O coatings deposited by reactive cathodic arc evaporation

著者 (7件)： RAMM Juergen ,  NEELS Antonia ,  WIDRIG Beno ,  DOEBELI Max ,  VIEIRA Leandro de Abreu ,  DOMMANN Alex ,  RUDIGIER Helmut
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： 5  ページ： 1356-1361  発行年： 2010年11月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応陰極アークの析出パラメータは,複合Al-Crターゲットの表面のプロセスならびに合成されたAl-Cr-O層の核の生成と相形成に関連する。酸素圧とアーク電流のパルス操作はターゲット表面における金属間化合物相と固溶体の生成に影響を及ぼす。基材サイトでの三元酸化物コーティングの核生成は,ある程度は,ターゲット表面で形成される金属間化合物化や固溶体で制御可能であるように見える。したがって,基材サイトでの特定の核生成プロセスを,ターゲット組成の自由選択と酸素圧とパルス化アークの操作との組み合わせで引き起こすことができる。また,これによって,高い酸素圧で時折起こる,ターゲット表面の酸化物の島状成長を制御することができる。この仮説は,層ならびにターゲット表面のX線回折分析,ならびに断面の走査電子顕微鏡とラザフォード後方散乱分光による層の分析で支持される。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化物 ,  *クロム化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *蒸着膜 ,  *イオンめっき ,  アーク放電 ,  *ターゲット ,  *アルミニウム合金 ,  クロム含有合金 ,  *核形成 ,  *相組成 ,  金属間化合物 ,  超硬合金 ,  炭化タングステン ,  コバルト含有合金 ,  植刃工具 ,  超硬合金工具 ,  被覆工具 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  セラミック被覆 ,  *プロセスパラメータ
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  *陰極アーク蒸着 ,  *酸化クロムアルミニウム

分類 (2件)： ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D) ,  切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 陰極アーク蒸着 ,  析出 ,  Al ,  Cr ,  コーティング ,  ターゲット ,  層 ,  核 ,  相関関係