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J-GLOBAL ID：201002240625967698   整理番号：10A0128069

超ナノ結晶ダイヤモンド膜の微細構造の発達に対するArプラズマ中へのN₂添加の影響

Effect of N₂ addition in Ar plasma on the development of microstructure of ultra-nanocrystalline diamond films

著者 (6件)： WANG Chuan-sheng (Dep. of Physics, Tamkang Univ., Tamsui 251, Taiwan, TWN) ,  WANG Chuan-sheng (Technol. and Sci. Inst. of Northern Taiwan, Taipei 112, Taiwan, TWN) ,  TONG Ging-horng (Dep. of Physics, Tamkang Univ., Tamsui 251, Taiwan, TWN) ,  CHEN Huang-chin (Dep. of Physics, Tamkang Univ., Tamsui 251, Taiwan, TWN) ,  SHIH Wen-ching (Graduate Inst. in Electro-Optical Engineering, Tatung Univ., Taipei 104, Taiwan, TWN) ,  LIN I-nan (Dep. of Physics, Tamkang Univ., Tamsui 251, Taiwan, TWN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 2-3  ページ： 147-152  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： UNCD膜の特性に対するアルゴンプラズマ中のN₂とH₂添加の影響について系統的に調べた。N₂/Arプラズマは超小粒子(約5nm)のUNCD膜をもたらすが,N₂/ArプラズマへのH₂の導入は粒子サイズを単調に増加させるのがわかる。また,H_2の無しのプラズマで合成したダイヤ粒子は等軸構造であるが,H₂含有のプラズマで成長したものは板状である。発光分光分析は,ArプラズマへのH₂の添加による電子温度の増加がUNCD膜のミクロ構造を変える主因であることを示唆した。H₂含有量が増加するに従って,球状のダイヤ粒子は凝集して,最初に細長い粒子を形成し,これが合体して樹枝状結晶クラスタを形成する。かくして,電子電界放出過程を引き起こすのに必要な作動電圧を増大する結晶粒界の割合が減少する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  ナノ結晶 ,  プラズマCVD ,  添加物効果 ,  水素 ,  窒素 ,  粒径 ,  反応機構 ,  電子温度 ,  結晶形態 ,  *電界放出 ,  結晶粒界 ,  電圧依存性

分類 (3件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  微細構造 ,  発達 ,  Ar ,  プラズマ ,  N2