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J-GLOBAL ID：201002240746587230   整理番号：10A1077918

紫外線リソグラフィーによってパターン形成可能なAgおよびAu/DNQ-ノボラックナノ複合材料 プラズモンセンサミクロ作製法への迅速経路

Ag and Au/DNQ-novolac nanocomposites patternable by ultraviolet lithography: a fast route to plasmonic sensor microfabrication

著者 (4件)： MARQUES-HUESO Jose (Univ. Valencia, Valencia, ESP) ,  ABARGUES Rafael (Univ. Valencia, Valencia, ESP) ,  VALDES Jose L. (Univ. Valencia, Valencia, ESP) ,  MARTINEZ-PASTOR Juan P. (Univ. Valencia, Valencia, ESP)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 20  号： 35  ページ： 7436-7443  発行年： 2010年09月21日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 市販フォトレジストジアゾナフトキノン(DNQ)-ノボラック調合物と過塩素酸銀,塩化金酸または塩化金酸カリウムとを含む1-メトキシ2-プロピルアセテート溶液をガラススライド上にスピンコーティングし,後45°Cで10分間加熱して厚さ280nmのナノ複合膜を調製した。このナノ複合フォトレジスト膜を紫外線照射し,露光後熱処理(PEB)すると通常のパターン形成に加えて現像後のパターン中にAgおよびAuナノ粒子が形成された。AgおよびAuナノ粒子を埋め込んだナノ複合膜はAuおよびAgナノ粒子に起因する表面プラズモン共鳴によってセンサとして利用することができることを2-メルカプトエタノール検出によって確認した。

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  *ノボラック ,  *ナノ複合材料 ,  *ナノ粒子 ,  バイオセンサ ,  光センサ ,  フォトリソグラフィー ,  熱処理 ,  脂肪族アルコール ,  チオール
準シソーラス用語： *DNQ ,  *金ナノ粒子 ,  *銀ナノ粒子 ,  表面プラズモン共鳴センサ

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

物質索引 (1件)： 2-メルカプトエタノール

タイトルに関連する用語 (8件)： 紫外線リソグラフィー ,  パターン形成 ,  Ag ,  Au ,  ノボラック ,  ナノ複合材料 ,  作製法 ,  経路