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J-GLOBAL ID：201002241078182580   整理番号：10A0511102

基板を使用したMEMS可変キャパシタンスデバイス:II.ジッパーバラクタ

MEMS variable capacitance devices utilizing the substrate: II. Zipping varactors

著者 (2件)： ELSHURAFA Amro M (King Abdullah Univ. Sci. and Technol. (KAUST), Thuwal, SAU) ,  EL-MASRY Ezz I (Dalhousie Univ., Nova Scotia, CAN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 4  ページ： 045028,1-7  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ジッパーバラクタの調整範囲を増強することができる,ジッパーパラクタについて検討した。電圧をかけるとビームの自由端が基板に引き込まれて,電圧を増すと曲げ,変形が行われる。分離距離が3.3μmの場合の2つのプレートの間のキャパシタンスを解析した。サイド長さが200μm,サスペンションアームの幅が15μmの場合の電圧に対するキャパシタンスの変化を調べた。電圧10Vで,キャパシタンスが1.4から5.5pFに急変する。有効なサスペンションの設計によって,良好な性能が得られた。

シソーラス用語： *可変コンデンサ ,  *可変容量ダイオード ,  MEMS ,  静電容量 ,  ビーム ,  懸架装置 ,  電圧依存性
準シソーラス用語： 可変キャパシタ ,  バラクタ ,  キャパシタンス ,  サスペンション装置

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  可変 ,  キャパシタンス ,  ジッパー ,  バラクタ