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J-GLOBAL ID：201002241267140065   整理番号：10A0611297

周波数可変RFフィルタにおける機械結合NEMSアレイのモード制御

Modal Control of Mechanically Coupled NEMS Arrays for Tunable RF Filters

著者 (6件)： KHARRAT Chady (CEA LETI, Grenoble, FRA) ,  COLINET Eric (CEA LETI, Grenoble, FRA) ,  DURAFFOURG Laurent (CEA LETI, Grenoble, FRA) ,  HENTZ Sebastien (CEA LETI, Grenoble, FRA) ,  ANDREUCCI Philippe (CEA LETI, Grenoble, FRA) ,  VODA Alina (GIPSA-Lab, Grenoble, FRA)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 57  号： 6  ページ： 1285-1295  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ電気機械システム(NEMS)を用いたフィルタの新しい周波数可変法を提案した。この方法は機械結合2DNEMSアレイのモード制御に基づいておりアレイの集合的挙動は離散モード解析法で調べた。その結果2Dアレイでは中心周波数とともに帯域幅も制御できることがわかった。また固有値摂動理論を用いた計算結果からアレイの周波数応答には分散効果が生じることもわかった。この分散効果はフィルタに中心周波数シフトと伝送異常を持ち込むがこれらに対してはフィルタを狭帯域で用いるか帯域通過にするかに応じて別個に抑圧する方法を示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ナノメータ加工 ,  共振周波数 ,  周波数応答 ,  固有値 ,  摂動論 ,  *帯域フィルタ ,  *音響共振器 ,  弾性表面波素子 ,  制御 ,  *モード解析 ,  同調
準シソーラス用語： NEMS ,  モード制御

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 可変 ,  RF ,  NEMS ,  アレイ ,  モード制御