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J-GLOBAL ID：201002241389940720   整理番号：10A1375331

マグネトロンスパッタターゲット用のSi-Ni-Fe系の合金

СПЛАВЫ СИСТЕМЫ Si-Ni-Fe ДЛЯ МИШЕНЕИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

著者 (5件)： КОЛЕСНИКОВА И. Г. ,  ФРЕИДИН Б. М. ,  КУЗЬМИЧ Ю. В. ,  РОГАЧЕВ Д. Л. ,  МАИОРОВ Л. А.
資料名： Metally  (Metally)
号： 5  ページ： 106-110  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： R0172A  ISSN： 0869-5733  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ロシア (RUS)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタターゲット用の抵抗合金Si-10Ni-4Fe,mass%合金及びSi-15Ni-6Fe,mass%合金を鋳造法で作製した。それらの合金のミクロ組織,微小な機械的性質及び残留熱応力に及ぼす鋳造時の5~100°Cの範囲の冷却速度の影響を研究した。ミクロ組織は光顕によって,微小機械的性質は微小硬度系によってそして残留熱応力はX線回折によって調べた。平均結晶粒径,微小脆性及び微小強度の冷却速度依存性の結果を示した。さらに,ターゲットの表面層での残留マクロ応力の分布を3次元表示で示した。ターゲットの均一な微細粒構造,高強度特性及び最小の残留応力レベルが達成される鋳造品の最適冷却速度を確定した。

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *ターゲット ,  *ケイ素合金 ,  ニッケル含有合金 ,  鉄含有合金 ,  鋳造 ,  金属組織 ,  機械的性質 ,  残留応力 ,  微小硬さ ,  熱応力 ,  脆性 ,  応力分布 ,  冷却速度 ,  結晶粒度

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  Ni ,  Fe系 ,  合金