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J-GLOBAL ID：201002241470083034   整理番号：10A0422239

圧電基板と多重弾性層を持つ層状構造におけるLove波についての理論解析

Theoretical analysis on Love waves in a layered structure with a piezoelectric substrate and multiple elastic layers

著者 (2件)： LIU Jiansheng (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100190, CHN) ,  HE Shitang (Inst. of Acoustics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100190, CHN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 7  ページ： 073511  発行年： 2010年04月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電性基板と等方性の非圧電物質である多層弾性層から成る多層構造中の圧電性Love波の存在と挙動を解析するための方法を開発した。基板と層内の音響波と電場を調べる。一般的分散方程式を導き規格化層厚さの関数として位相速度に対するLove表面波の存在を記述する。層と基板間の機械的作用を記述するためX_Nに対する反復式を導入する。層内の電場を記述するため<span style=text-decoration:overline>ε</span>_LNの別の式,導波路層透過の等価誘電率を作成する。トップ層表面への質量充填を含む分散方程式を導き,位相速度の質量感度を計算する式を提示する。電気的にショートした界面の分散方程式も見出し,電気機械結合係数K²を計算する式も導入する。数値結果から,90°回転STカット石英(ST-石英)基板上ポリメチルメタクリレート(PMMA)層とスパッタSiO₂層の層構造におけるLove波に対する規格化層厚さの関数として位相速度,位相速度の質量感度と電気機械結合係数が例示される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *Love波 ,  基板 ,  *圧電体 ,  *多層構造 ,  *弾性材料 ,  方程式 ,  *膜厚 ,  *位相速度 ,  誘電率 ,  結合係数 ,  音波 ,  電場 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  スパッタ蒸着 ,  高分子薄膜 ,  誘電体薄膜
準シソーラス用語： 分散方程式 ,  等価誘電率 ,  電気機械結合係数

分類 (1件)： 固体の音波物性一般  (BL02031U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電基板 ,  多重 ,  弾性層 ,  層状構造 ,  Love波 ,  理論解析