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J-GLOBAL ID：201002241935917409   整理番号：10A0346952

回転偏光対称性を用いた高空間分解能のゼロ検出マイクロエリプソメータ

High-spatial-resolution nulling microellipsometer using rotational polarization symmetry

著者 (2件)： TSCHIMWANG Alain ,  ZHAN Qiwen
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 9  ページ： 1574  発行年： 2010年03月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高空間分解能のゼロ検出マイクロエリプソメータの設計と実験的試験について報告する。このマイクロエリプソメータの設計は,空間分解の偏光解析測定の信号対雑音比を改善する回転偏光対称性の以前に報告された原理に基づく。電気光学偏光回転器の使用により,ゼロ検出方式が実現可能になる。このゼロ検出マイクロエリプソメータを用いて,リソグラフィーによりパターン化した微細構造の表面形状測定を実証する。632.8nmの照射波長と0.9の開口数を用いて0.48μmの横空間分解能を計算する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *エリプソメータ ,  *偏光解析法 ,  対称性 ,  空間分解能 ,  SN比 ,  形状測定 ,  He-Neレーザ

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 回転偏光 ,  対称性 ,  高空間分解能 ,  エリプソメータ