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J-GLOBAL ID:201002241951630179   整理番号:10A1542518

高度環境制御施設を支える新技術 超純水中のナノ・パーティクル捕集装置nPCDの紹介

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巻: 20  号: 12  ページ: 36-38  発行年: 2010年12月10日 
JST資料番号: L1138A  ISSN: 0917-1819  CODEN: KTEKER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体製造プロセスに使用される超純水(UPW)中の粒子管理は製品の品質管理に重要である。ナノ粒子を捕捉して分析する新規な装置を紹介した。装置は電解研磨されたステンレス鋼製の円筒と,その中心に配置された小直径のステンレス鋼製のロッドであり,円筒にUPWを流通させる。円筒とロッドをそれぞれ負と正に帯電させる。流入するUPW中の,表面電荷を有する超微粒子はそれぞれの電荷に従って円筒とロッドに移動・付着する。この際,超微粒子は凝集して,数mm程度の大粒子に成長する。この成長粒子を,円筒とロッドの電極の極性を逆転させて粒子群を脱離させる。これを用いて走査型電子顕微鏡(SEM)等によって計数し,あるいはX線回折等により組成分析を行う。全体のプロセスに要する時間は24時間以内であり,従来法に比較して顕著に短縮された。
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分類 (3件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
計測機器一般  ,  エーロゾル  ,  集積回路一般 

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