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J-GLOBAL ID：201002242112821526   整理番号：10A0918294

Sr₂FeMoO₆膜の化学量論および原子価状態のX線光電子分光

X-ray photoemission spectroscopy of Sr₂FeMoO₆ film stoichiometry and valence state

著者 (9件)： RUTKOWSKI M. (Dep. of Physics, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  HAUSER A. J. (Dep. of Physics, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  YANG F. Y. (Dep. of Physics, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  RICCIARDO R. (Dep. of Chemistry, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  MEYER T. (Dep. of Chemistry, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  WOODWARD P. M. (Dep. of Chemistry, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  HOLCOMBE A (Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  MORRIS P. A. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210) ,  BRILLSON L. J. (Dep. of Physics and Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Ohio State Univ., Columbus, Ohio 43210)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 28  号： 5  ページ： 1240  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単色X線光電子分光およびRutherford後方散乱分光を組合わせ,Sr₂FeMoO₆エピタクシー膜のバルクの化学量論および電荷状態を決定するための方式を開発した。本研究により,表面汚染を除去し,また膜成分の優先スパッタリングあるいはその特徴的な原子価状態の変化を防止するための最適なイオンスパッタリングプロセスを見出した。Sr₂FeMoO₆に関し,短時間(数十分の一秒)の低エネルギー(500eV)斜め入射Ar⁺スパッタリングにより,化学量論組成および膜成分の特徴的な電荷状態を得ることができた。スパッタリングによる組成および原子価状態の変化は一般に,複雑な酸化物薄膜の化学量論および電荷状態の指標となった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ストロンチウム化合物 ,  鉄化合物 ,  磁性薄膜 ,  エピタクシー ,  *スパッタ蒸着 ,  化学量論 ,  *原子価 ,  *X線光電子スペクトル ,  Rutherford後方散乱 ,  イオンビームスパッタリング ,  100-1000eV ,  アルゴン ,  化学組成 ,  巨大磁気抵抗効果 ,  モリブデン化合物 ,  *酸化物 ,  混合原子価化合物

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学量論 ,  原子価状態 ,  X線光電子分光