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J-GLOBAL ID：201002242240714422   整理番号：10A0976402

ハイポサイクロイド熱電アクチュエータを基礎にした大きな回転角度をもつマイクロミラー

Large rotation angle micromirror based on hypocycloidal electrothermal actuators

著者 (3件)： XU Y. (A*STAR(Agency for Sci. Technol. and Res.), Singapore) ,  SINGH J. (A*STAR(Agency for Sci. Technol. and Res.), Singapore) ,  CHEN N. (National Univ. Singapore, Singapore)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 46  号： 10  ページ： 704-706  発行年： 2010年05月13日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バイモルフ熱電アクチュエータ利用のマイクロミラーは低い駆動電圧,大きな機械的振れ角幅が長所で,しかも簡単につくれる。本報告はハイポサイクロイド熱電アクチュエータ(HEA)を利用する大きな回転角度をもつマイクロミラーについて述べる。非共振モードに2.6Vで約35°の機械的回転角を実現する。1軸回転を達成するために2グループのHEAにより支持するCr/Au被膜付き方形ミラープレートを用いて構成した。4Al/Siバイモルフ構造を並列に接続して1個のHEAをつくる。この構造で振れ角の拡張を実証した。回転軸は静止状態を保ち,横方向への揺れは生じない。大きな正弦周波応答のときに,-3dB遮断周波数は約29Hzである。有限要素解析シミュレーションと実験結果のいずれもが,この1軸回転マイクロミラーデバイスの有望さを立証した。

シソーラス用語： 熱電効果 ,  *アクチュエータ ,  駆動方式 ,  回転角 ,  *反射鏡 ,  マイクロマシニング ,  *MEMS ,  圧電素子 ,  積層構造
準シソーラス用語： 圧電アクチュエータ ,  マイクロミラー

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ハイポ ,  サイクロイド ,  アクチュエータ ,  基礎 ,  回転角度 ,  マイクロミラー