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J-GLOBAL ID：201002242392714363   整理番号：10A0144788

スパッタリング後のアニ-リング処理したLa-Cr-Oコーティングの特性評価に及ぼす層間効果

Interlayer effect on the characterization of the La-Cr-O coatings with post-sputtering annealing treatment

著者 (5件)： HO Wei-yu (Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., 369 Wen-Hua Rd., Peetow, Changhua, Taiwan) ,  HSU Cheng-hsun (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Tatung Univ., Taiwan) ,  TSAI Ming-hua (Inst. of Material and System Engineering, MingDao Univ., Taiwan) ,  YANG Yu-sen (Dep. of Mechanical and Automation Engineering, National Kaohsiung First Univ. of Sci. and Technol., Taiwan) ,  WANG Da-yung (Dep. of Materials Sci. and Engineering, MingDao Univ., 369 Wen-Hua Rd., Peetow, Changhua, Taiwan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 256  号： 9  ページ： 2705-2710  発行年： 2010年02月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究ではAISI316ステンレス鋼上のLa-Cr-Oコーティングの成長がDCマグネトロンスパッタリング過程を用いて行われた。三つのタイプのLa-Cr-Oコーティングが設計された,一つは間の層なしのもの,他の二つはCr膜とCrN膜を層間にそれぞれ持つものである。この研究はアニ-リング後処理のLa-Cr-Oコーティングの性質に対する層間効果を調べることを目的としている。コーティングの特性はX線回折装置(XRD),X線光電子分光法(XPS),走査電子顕微鏡法(SEM),熱重量分析(TGA)/示差走査熱量測定(DSC)を用いて調べられた。 結果は成長のままものは3タイプとも構造は無定形であった。800°Cで空気中1時間のアニーリングの後,構造はLaCrO₃ぺロブスカイト相に変換した。間の層のないコーティングに比べると,2重層コーティングはCr₂O₃構造を示さなかった。 このことはこのコーティングで間の層をがあることが最外層に酸化物を作るようなCrの拡散を効果的に防ぐことができることを意味している。TGA/DSCの解析と電気抵抗測定から,CrN膜を層間に持つ,アニールを行ったLa-Cr-Oコーティングが電気抵抗と高温での化学的安定性においてベストのパフォーマンスを示すことがわかる。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  ステンレス鋼 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *酸化物 ,  *ランタン化合物 ,  *クロム化合物 ,  *被覆 ,  X線回折 ,  X線光電子スペクトル ,  走査電子顕微鏡 ,  熱重量分析 ,  示差走査熱量測定 ,  *熱処理 ,  蒸着膜 ,  *ペロブスカイト型結晶 ,  電気抵抗 ,  *耐食性 ,  効果
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  DSC【熱量測定】 ,  層間効果

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタリング ,  コーティング ,  特性評価