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J-GLOBAL ID：201002242636934522   整理番号：10A0609138

原子層堆積によって合成したメタノール分解用パラジウム触媒

Palladium Catalysts Synthesized by Atomic Layer Deposition for Methanol Decomposition

著者 (6件)： FENG Hao (Argonne National Lab., Illinois) ,  ELAM Jeffrey W. (Argonne National Lab., Illinois) ,  LIBERA Joseph A. (Argonne National Lab., Illinois) ,  SETTHAPUN Worajit (Argonne National Lab., Illinois) ,  STAIR Peter C. (Argonne National Lab., Illinois) ,  STAIR Peter C. (Northwestern Univ., Illinois)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 22  号： 10  ページ： 3133-3142  発行年： 2010年05月25日 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積(ALD)は陽極酸化アルミニウム膜のような広い表面積を有する基板上に精密共形薄膜を製膜する有効技術として出現した。ALD過程において,製膜サイクルをもたらすため,各々が先のパルス間に発生した表面官能基と反応するように二種類の気体前駆体を交互にパルス化した。Pd(II)ヘキサフルオロアセチルアセトナート(Pd(hfac)₂)とホルマリンへの逐次曝露を用い,種々のALD金属酸化物薄膜上に200°CでALDパラジウム薄膜を析出した。平面基板上で行ったその場石英結晶微量天秤測定と同様にex situ測定はPd成長が比較的緩速核形成過程で開始し,適切量のPdが表面上に一旦堆積すると加速することを示した。更に,Pd核形成はALD Al₂O₃表面に比較してALD ZnO表面上で速い。ALD ZnOとAl₂O₃被覆メソポーラスシリカゲル上に高分散均一Pdナノ粒子(直径1~2nm)を合成するためALDを利用し,メタノール分解反応においてこれらの試料の触媒性能を比較した。ALD Pd-Al₂O₂は比較的低温で高触媒活性と水素選択性を示し,一方,ALD Pd-ZnOは低触媒活性と同様に迅速失活を示した。その場拡張X線吸収微細構造(EXAFS)測定はZnO担持Pdがメタノール分解反応間に基板中に溶解し,それがその触媒活性の漸進的消失を説明した。Pd-ZnO触媒の頭頂に一サイクのALD Al₂O₃を適用することによって,活性は増強され,触媒失活は軽減した。このAl₂O₃保護膜法はPd-ZnOを安定化し,ZnO基板へのPd溶解を有効に防止した。

シソーラス用語： *脂肪族アルコール ,  *パラジウム触媒 ,  パラジウム錯体 ,  脂肪族アルデヒド ,  分解反応 ,  *水素発生反応 ,  *化学蒸着 ,  単原子層 ,  担持触媒 ,  酸化アルミニウム ,  酸化亜鉛 ,  シリカゲル ,  多孔質体 ,  核形成 ,  結晶成長 ,  触媒活性 ,  触媒失活 ,  EXAFS ,  *接触分解 ,  前駆体 ,  保護膜 ,  安定化 ,  その場観察 ,  微量天秤 ,  水晶振動子 ,  脂肪族ケトン ,  脂肪族フッ素化合物 ,  ジケトン ,  表面被覆
準シソーラス用語： ALD ,  メソポーラスシリカ ,  拡張X線吸収微細構造 ,  触媒性能 ,  原子層堆積 ,  石英結晶微量天秤

分類 (1件)： 貴金属触媒  (CB06122I)

物質索引 (3件)： ホルマリン ,  メタノール ,  ヘキサフルオロアセチルアセトン

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子層堆積 ,  メタノール分解 ,  パラジウム触媒