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J-GLOBAL ID:201002243303032960   整理番号:10A0933120

テルビウムがドープされた非晶室広バンドギャップ半導体(SiC)1-x(AlN)xとその光学発光特性のバンドギャップ工学

Bandgap engineering of the amorphous wide bandgap semiconductor (SiC)1-x (AlN) x doped with terbium and its optical emission properties
著者 (9件):
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巻: 174  号: 1-3  ページ: 114-118  発行年: 2010年10月25日 
JST資料番号: T0553A  ISSN: 0921-5107  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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テルビウムがドーピングされた擬2元化合物(SiC)1-x(AlN)xの非晶室広バンドギャップ半導体薄膜が,CaF2とガラス基板上に試行的なrfマグネトロンスパッタリングにより成長させられた。組成xの依存性における膜の光学バンドギャップが,(αhν)2対エネルギープロットとTaucプロットを使用する透過測定から求められた。バンドギャップは,x=0(SiC):2.2eVからx =0.94 (ほぼ純 AlN):0.94eVに変動し,ボウイング定数(3.18±1.01)eVを用いるVegard則で説明可能である。カソード発光測定は,典型的なテルビウム放出パターンを示している。300°C~1150°Cまでの等時間隔的アニーリングによる薄膜の熱活性化は,1100°Cの最適アニール温度で放出の強い増加につながる。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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半導体薄膜 

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