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J-GLOBAL ID:201002243720812722   整理番号:10A1000960

固体基板上のナノテクスチャ有機生体適合フィルムの気相軽便コーティング

Vapor-Phase Facile Coatings of Nanotextured Organic Biocompatible Films on Solid-State Substrates
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 618-624  発行年: 2010年09月 
JST資料番号: W1355A  ISSN: 1536-125X  CODEN: ITNECU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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固体表面のフッ素コーティングは腐食防止から低表面エネルギー生体界面などまで多くの応用で重要である。化学処理やlプラズマ処理を伴わない固体表面への気相直接コーティング法を記す。材料はAPTMS(アミノプロピルメトキシシラン)とPFTS(ペルフロロオクチジルシラン)である。基板はXPS用にSiウエハ,FTIR用にKBr結晶を用い円筒チャンバーの真空度を25torrとした。XPSとFTIR解析の結果,膜は有機的性質を持ち,フッ素に富んでいて表面積を大きくするナノ細孔がある。この被覆膜は初期線維芽細胞や心筋細胞の成長をサポートする。本方法は最少の化学設備で様々な応用のためのコーティング,機能化,ナノマイクロ構造処理などに使うことが出来る。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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