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J-GLOBAL ID：201002243982992748   整理番号：10A0195420

熱フィラメントCVDによるカーボンナノチューブの整列成長および整列機構

Aligned growth and alignment mechanism of carbon nanotubes by hot filament chemical vapor deposition

著者 (2件)： YI Wenwen (Univ. Saskatchewan, SK, CAN) ,  YANG Qiaoqin (Univ. Saskatchewan, SK, CAN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 98  号： 3  ページ： 659-669  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インコネルシート上での熱フィラメントCVDによるカーボンナノチューブ(CNT)成長の際,広範にバイアス電圧を変化させ,生じたCNTの構造変化を観測した。原料ガスにはメタンおよび水素の混合体を用いた。観測は走査電子顕微鏡,透過型電子顕微鏡および電界電子放出(FEE)測定によりおこなった。よく整列したCNTは,バイアス増強熱フィラメントCVDで成長した。結果によれば,バイアス-500Vで最良の整列を得た。初期段階において,引かきのないシート上では整列および非整列のCNTが同時に成長した。他方,引かきシート上では整列CNTのみが成長した。結果によれば,電場中でのCNTの整列に先端成長は必要なかった。また,熱処理に先立って引かきで生じた大きな触媒粒子は,初期段階でCNTの整列を誘起した。引かきシート上に成長した樹状CNT束は,引かきのないシート上に成長した密なCNT森よりも,遮蔽効果の減少のためよいFEE性能を示した。引かきシート上のCNT束は最小のターンオン電圧4.2V/μmを示した。

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  気相成長 ,  *化学蒸着 ,  *アラインメント ,  インコネル ,  水素 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *電界放出 ,  触媒 ,  先端成長 ,  ターンオン ,  アルカン
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  遮蔽効果 ,  *熱フィラメントCVD

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱フィラメントCVD ,  カーボンナノチューブ ,  整列 ,  成長