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J-GLOBAL ID：201002244346146930   整理番号：10A0521433

サブファブ同期は省エネルギーを増大させる

Subfab sync increases energy savings

著者 (3件)： CHANDLER P. (Applied Materials, CA, USA) ,  NEUBER A. (Applied Materials, CA, USA) ,  FISHER P. (Applied Materials, CA, USA)
資料名： Solid State Technology  (Solid State Technology)
巻： 53  号： 4  ページ： 12-13  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： E0226A  ISSN： 0038-111X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブファブ構成要素の省エネルギーは,環境・健康・安全(EHS)リスクの除去と同時に,前工程費の節減を達成できる実際的な方法である。真空ポンプ,POU除害装置,ガス供給系など,重要な要素を単一メインフレーム・中央制御システムに統合し,エネルギー消費を大幅に低減する新しい手法を解説した。統合サブファブ制御とプロセスツールの稼動を同期させることにより,エネルギー消費のレシピレベル制御(RLC)が可能になる。これにより,エネルギー消費は現状ベースライン比で20%を超える大幅な低減となる。加えて,効率改善の経験から得られたプロセスガス除害の方策を説明した。

シソーラス用語： *省エネルギー ,  *工場 ,  下部構造 ,  集中制御 ,  同期制御 ,  排出抑制 ,  リスク管理 ,  フッ化窒素
準シソーラス用語： *半導体工場 ,  有害性低減

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生産に関する一般問題  (NA01060I)

タイトルに関連する用語 (3件)： サブ ,  ファブ ,  省エネルギー