文献

J-GLOBAL ID：201002244661892900   整理番号：10A0178101

ハイ-k誘電体における漏洩電流に関するモデル化:動的モンテカルロ法による三次元アプローチ

Modeling of leakage currents in high-κ dielectrics: Three-dimensional approach via kinetic Monte Carlo

著者 (5件)： JEGERT Gunther (Inst. for Nanoelectronics, TU Munich, D-80333 Munich, DEU) ,  KERSCH Alfred (Univ. of Applied Sciences Munich, D-80335 Munich, DEU) ,  WEINREICH Wenke (Fraunhofer Center Nanoelectronic Technol., D-01099 Dresden, DEU) ,  SCHROEDER Uwe (NaMLab gGmbH, D-01099 Dresden, DEU) ,  LUGLI Paolo (Inst. for Nanoelectronics, TU Munich, D-80333 Munich, DEU)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 96  号： 6  ページ： 062113  発行年： 2010年02月08日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 動的モンテカルロ法に基づくシミュレーションアルゴリズムを用いて,高い誘電率を持つ誘電体の輸送特性を研究した結果を報告する。TiN/ZrO₂/TiNから成るコンデンサコンデンサ型構造を例として,最良予測物理パラメータを用いて主要な輸送機構を明らかにすることができた。実験データとの比較から,低電場ではドナー型トラップ状態からのPoole-Frenkel電子放出が輸送を支配し,高電場ではトラップ支援のトンネリングが輸送を支配することが分かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *誘電材料 ,  *漏れ電流 ,  モンテカルロ法 ,  三次元 ,  誘電率 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *酸化ジルコニウム ,  コンデンサ ,  ドナー ,  捕獲中心 ,  Poole-Frenkel効果 ,  トンネル効果 ,  誘電体薄膜
準シソーラス用語： *high-k材料 ,  窒化チタン ,  電場依存性

分類 (1件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘電体 ,  漏洩電流 ,  モデル化 ,  動的モンテカルロ法