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J-GLOBAL ID:201002245537414869   整理番号:10A1340010

PETフィルム基板を用いた極薄静電検出3軸フォースセンサ

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号: 24  ページ: 21  発行年: 2010年07月23日 
JST資料番号: X0426B  ISSN: 0914-2207  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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