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J-GLOBAL ID：201002246492368824   整理番号：10A0086442

MEMSデバイスのための力の低い電気接点としての金でコーティングされた多層カーボンナノチューブ表面:その1

Gold coated Multi-Walled Carbon Nanotube Surfaces as Low Force Electrical Contacts for MEMS devices: Part 1.

著者 (3件)： MCBRIDE J.W. (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  YUNUS E.M. (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  SPEARING S.M. (Univ. Southampton, Southampton, GBR)
資料名： Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts  (Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts)
巻： 55th  ページ： 278-284  発行年： 2009年 
JST資料番号： E0462C  ISSN： 1062-6808  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金でコーティングされたMWCNT(多層カーボンナノチューブ)の表面に関して,電気接点としての限界を決定するための実験的分析をおこなった。MEMS(マイクロ・エレクトロメカニカル・システム)のスイッチングデバイスに限界をもたらしている電気接点問題に対する可能性のあるソリューションは,MWCNTを垂直に配列させ,これらを導電性の金の層でコーティングすることである。本研究は,MWCNT表面の材料特性や電気特性に関して実験で得られた結果に焦点をあてた。シリコン平面上に合成したMWCNTに金フィルムをスパッタでコーティングし,その平面の表面を圧電アクチュエータのチップ上に実装し,金コーティングされた半球状プローブと組み合わせた。接触力や負荷電流を変化させて接触抵抗と表面の性能劣化を基準となる金-金接点表面と比較した。分析結果から決定された電流負荷限界を提示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *多層カーボンナノチューブ ,  被覆 ,  金 ,  *電気接点 ,  接点材料 ,  電気特性 ,  スパッタ蒸着 ,  スイッチング素子 ,  アクチュエータ ,  プローブ ,  接触抵抗 ,  劣化
準シソーラス用語： コーティング ,  スイッチングデバイス ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  圧電アクチュエータ ,  材料特性 ,  性能劣化 ,  接触力 ,  電気接点材料 ,  負荷電流

分類 (1件)： 混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMSデバイス ,  力 ,  電気接点 ,  金 ,  コーティング ,  多層カーボンナノチューブ