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J-GLOBAL ID：201002246531888474   整理番号：10A0904150

熱酸化させた酸化亜鉛膜の電気的および光学的エタノール感度

Electrical and optical ethanol sensitivity of thermally oxidized zinc oxide films

著者 (3件)： BAL Amandeep Kaur (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., Amritsar 143005, IND) ,  SINGH Amarjit (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., Amritsar 143005, IND) ,  BEDI R.k. (Material Sci. Lab., Dep. of Physics, Guru Nanak Dev Univ., Amritsar 143005, IND)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 518  号： 23  ページ： 7107-7112  発行年： 2010年09月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛(ZnO)膜を室温(35°C)に保持したガラス基板に真空蒸着した亜鉛(Zn)の熱酸化により作製した。350から500°Cでアニールした膜の構造的,電気的,光学的およびガスセンシング特性を調べた。X線回折測定は,これらの温度で酸化した膜が優先結晶方位として(101)を持つ多結晶であることを示した。酸化温度を350°Cから500°Cに上げても格子パラメータの実質的変化は見られなかった。電界放出形走査電子顕微鏡観察では,350°Cと500°Cで酸化したZnO膜表面にそれぞれナノ粒子とナノワイヤの存在を示した。室温(35°C)で,350°Cで酸化した膜は2000ppmのエタノールへの曝露で96%までの応答の漸近的増加を示し,500°Cで酸化した膜は,500ppmで99%の応答を検出でき,それ以上では飽和した。膜の光吸収増加も50から200ppmまでエタノール濃度を増加したときに観測されたが,それ以上2000ppmまで増加させても顕著な変化は認められなかった。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  真空蒸着 ,  *熱酸化 ,  亜鉛 ,  薄膜成長 ,  焼なまし ,  多結晶 ,  優先配向 ,  *ガスセンサ ,  ナノ粒子 ,  *ナノワイヤ ,  電気伝導率 ,  光学ギャップ ,  光吸収スペクトル ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： ガラス基板

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱酸化 ,  酸化亜鉛 ,  光学 ,  エタノール ,  感度