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J-GLOBAL ID：201002246572688315   整理番号：10A0786229

エラストマ基板における変位増幅向上によるマイクロスロットルポンプのポンピング効率増強

Increasing pumping efficiency in a micro throttle pump by enhancing displacement amplification in an elastomeric substrate

著者 (4件)： FUJIWARA T (Tokyo City Univ., Tokyo, JPN) ,  JOHNSTON I D (Univ. Hertfordshire, Hertfordshire, GBR) ,  TRACEY M C (Univ. Hertfordshire, Hertfordshire, GBR) ,  TAN C K L (Univ. Hertfordshire, Hertfordshire, GBR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 6  ページ： 065018,1-8  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポンピング素子は多くの微小流体素子やMEMSなどにおける基本的な部品である。近年,種々のマイクロポンプが流体輸送の目的で開発されている。その中でエラストマベース微小流体素子の適用は受動流路構造の製作を安価で単純なものにしている。本論文では,エラストマ基板により可能になった動的微細構造の興味深い方式につき報告した。静的および動的変形途上で発生する内部歪に重点化した複合高分子PDMS/PMMA微細構造製作の手法を開発した。この重点化により,LMTP(リニアマイクロスロットルポンプ)のスロットル抵抗比およびポンピング性能を大幅に改善するため,エラストマ微細構造における変位増幅効果を向上した。性能強化したスロットル素子により,標準マイクロスロットルよりも1.4倍大きいスロットル抵抗比を実現した。また新しいLMTPでは,ピークポンピングレート2.2ml/分および,動作背圧34KPaを実現した。

シソーラス用語： ゴム ,  *フレキシブル基板 ,  変位 ,  *絞り弁 ,  ポンプ ,  *微細構造 ,  背圧 ,  ポリジメチルシロキサン ,  ポリメタクリル酸メチル
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  PMMA ,  *エラストマ ,  スロットル弁 ,  *ポンプ効率 ,  垂直変位

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (5件)： エラストマ ,  変位 ,  増幅 ,  ポンピング ,  増強