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J-GLOBAL ID：201002247117330697   整理番号：10A0731859

単一デスクトップ上OPC:製造とデザイナのためのGPUベースOPCおよび検証ツール

OPC on a single desktop: A GPU-based OPC and Verification tool for Fabs and Designers

著者 (6件)： TORUNOGLU Ilhami (Gauda Inc., CA, USA) ,  KARAKAS Ahmet (Gauda Inc., CA, USA) ,  ELSEN Erich (Gauda Inc., CA, USA) ,  ANDRUS Curtis (Gauda Inc., CA, USA) ,  BREMEN Brandon (Gauda Inc., CA, USA) ,  THOUTIREDDY Pururav (Gauda Inc., CA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7641  ページ： 764114.1-764114.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 妥当なコストのコンピュータハードウェア要求と,全体チップ計算を夜通しで完結する十分な精度と速度のアルゴリズムの,リソグラフィーシミュレーション方法を提案した。新しい技術の範囲と複雑さの拡大によってデータ量が膨大になるため,現在のCPUベースの光近接効果補正(OPC)は機能しなくなっている。計算機ハードウェアとしてCPUの他に図形処理装置(GPU)を設け,速度とコスト面での大幅な改善を達成した。また,大規模クラスタへの拡張性を持たせて,チップデザイナと製造者の両方が一貫性のある解を得られるようにした。計算を実行して,OPCおよびリソグラフィーコンプライアンスチェック(LCC)の夜通し作業を単独のデスクトップコンピュータで完結することを示した。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  シミュレーション ,  検証 ,  マイクロプロセッサ ,  専用プロセッサ ,  *半導体チップ ,  原価低減 ,  製造 ,  デザイナ ,  *補正
準シソーラス用語： GPU ,  コスト削減 ,  チップ【IC】 ,  デスクトップ ,  *光近接効果補正

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： デスクトップ ,  OPC ,  デザイナ ,  GPU ,  検証 ,  ツール