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J-GLOBAL ID：201002247236946035   整理番号：10A0605951

生物学的マイクロシステム用厚膜流量センサ

Thick film flow sensor for biological microsystems

著者 (6件)： BARTSCH DE TORRES H. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU) ,  RENSCH C. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU) ,  FISCHER M. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU) ,  SCHOBER A. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU) ,  HOFFMANN M. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU) ,  MUELLER J. (Ilmenau Univ. of Technol., Inst. of Micro- and Nanotechnologies, G.-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, DEU)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 160  号： 1-2  ページ： 109-115  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 流体システムで流量の現場計測のためのアネモメータを設計,製作と特性化した。初めに,境界層原理に従った流量センサを厚膜技術のみを用いて製作した。この原理では生物学流体システムで要求されるような低温流体用センサ応用が可能になる。このセンサを低温焼成(LTCC)でできた保持モジュールに集積した。このことは厚膜技術だけを用いた集積電子回路を用いての,コスト効率の良い複合流体マイクロシステムの実現を可能にした。サーミスタ複合体を独立したブリッジ上にプリントし,生物学上の互換性を確実にするために密封した。適切な技術を用いることによって密封は可能になった。同時に,この設計はセンサ素子を基板から断熱を最大にした。実験計画法(DoE)を用いて積層を研究している間に適合技術や製造プロセスに現れたように,不整合の縮小,TCE不整合,密度勾配と変形が原因で,独立センサブリッジに応力制御が影響を及ぼした。提案したアネモメータは流量80μl/minまで線形センサ特性であった。生物学的材料とのLTCCの互換性研究を提示するであろう。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： センサ ,  MEMS ,  バイオアッセイ ,  *厚膜技術 ,  サーミスタ ,  互換性 ,  密封
準シソーラス用語： *アネモメータ ,  *マイクロシステム ,  生物学的アッセイ ,  *流体流量センサ

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 生物学 ,  マイクロシステム ,  厚膜 ,  流量センサ