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J-GLOBAL ID：201002247317919466   整理番号：10A0625495

膜の弾性および圧電係数決定のためのインピーダンス測定

Impedance measurements for determination of elastic and piezoelectric coefficients of films

著者 (6件)： PARDO L. (CSIC, Madrid, ESP) ,  JIMENEZ R. (CSIC, Madrid, ESP) ,  GARCIA A. (CSIC, Madrid, ESP) ,  BREBOL K. (Limiel ApS, Langebaek, DNK) ,  LEIGHTON G. (Cranfield Univ., Bedfordshire, GBR) ,  HUANG Z. (Cranfield Univ., Bedfordshire, GBR)
資料名： Advances in Applied Ceramics  (Advances in Applied Ceramics)
巻： 109  号： 3  ページ： 156-161  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： E0272A  ISSN： 1743-6753  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Alemany等の自動反復法を用いて,Si基板上のPZT膜からの微小電気機械的装置を用いた,従来の自立曲げカンチレバー設計の装置により,複素インピーダンス測定から厚膜および薄膜の性質を測定した。200nmの表面シリカ層を有する両面研磨した厚さ350μm,100>Siウェーハを基板として,Pb_1.2(Zr_0.52Ti_0.48)O₃自立カンチレバーを作製した。インピーダンスアナライザーを用いて,自立厚膜カンチレバーの共鳴を測定し,膜の複素パラメータと電気機械的結合係数を計算した。

シソーラス用語： 逐次近似 ,  結合係数 ,  *定数 ,  圧電気 ,  *弾性係数 ,  電気測定 ,  片持梁 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *圧電材料 ,  エレクトロセラミック ,  機能性セラミック ,  共鳴 ,  有限要素法 ,  振動モード ,  電気抵抗率 ,  共振周波数 ,  歪分布 ,  厚膜 ,  薄膜 ,  *セラミック膜 ,  インピーダンス ,  誘電率 ,  *圧電セラミック
準シソーラス用語： インピーダンス測定 ,  *ピエゾセラミック ,  *圧電係数 ,  共振モード ,  電気機械結合係数 ,  電気機械的共鳴 ,  反復法 ,  複素インピーダンス ,  有限要素解析

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (3件)： 弾性 ,  圧電係数 ,  インピーダンス測定