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J-GLOBAL ID：201002247768066122   整理番号：10A0825924

太陽光発電および太陽熱発電の効率向上に寄与する「光機能性マテリアル」低反射表面テクスチャー構造の形成のためのウエットエッチング液~IPA freeプロセスによる単結晶シリコン太陽電池の提案~

著者 (1件)： 林田一良 (和光純薬工業)
資料名： 月刊Material Stage  (マテリアルステージ)
巻： 10  号： 3  ページ： 65-70  発行年： 2010年06月10日 
JST資料番号： L5969A  ISSN： 1346-3926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 太陽電池の高効率化のため光を効率よく吸収させる必要がある。このため,基板表面にピラミッド状のテクスチャを形成させるエッチング処理が必要である。本稿では,シリコン基板の低反射率表面を形成する和光純薬工業のウェットエッチング液「SUN-X600」を紹介した。低反射率を形成するため,結晶方位で異なる異方性エッチングを利用するが,従来はエッチング液にIPAを併用していた。SUN-X600は,天然物由来成分によるもので,高沸点でエッチング処理温度でも蒸散しない。また低起泡性である。この処理液による均一テクスチャ形成メカニズムを説明した。また,このエッチング剤により均一で高い再現性ある結果が得られることを示した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  光吸収 ,  反射率 ,  結晶方位 ,  *エッチング ,  異方性 ,  再現性 ,  湿式法 ,  *エッチング液 ,  沸点 ,  エネルギー変換効率 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： エッチング剤 ,  シリコン太陽電池 ,  *異方性エッチング

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子工学一般  (NC01000A)

引用文献 (6件)：

• Kuno Mayer, Daniel Kray, etal., Presented at the 23rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2008, 1-5 September (2008)
• 特開平11-233484号公報
• 特許第3948890号
• 特開2002-57139号公報
• WO 2006/046601

タイトルに関連する用語 (10件)： 太陽光発電 ,  太陽熱発電 ,  効率向上 ,  光機能 ,  マテ ,  表面テクスチャー ,  エッチング液 ,  プロセス ,  単結晶シリコン太陽電池 ,  提案