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J-GLOBAL ID：201002247862500553   整理番号：10A0863648

微小放電を用いたベータ放射線検出の無線信号伝送

Wireless Signaling of Beta Detection Using Microdischarges

著者 (3件)： EUN Christine K. (Univ. Michigan, MI, USA) ,  GHARPUREY Ranjit (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  GIANCHANDANI Yogesh B. (Univ. Michigan, MI, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19  号： 4  ページ： 785-793  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小放電は,製造技術(微小電気放電加工,真空パッケージングなど)から環境感知応用(流体の化学分析,放射線モニタリングなど)までのマイクロシステムに関係した広範囲な分野に応用されてきた。センサー動作中発生可能である,広帯域無線(RF)信号伝送とガス系超小型検知器について調べた。リソグラフィーにより作製した,2タイプの試験構造,1)エッチングによる検知用キャビテイを有する500μmの放電ギャップをもつシリコン/ガラス(SiG)微細加工積層構造と2)165~235μm範囲の放電ギャップをもつプレーナ形金属-オン-ガラス(MOG)構造,を評価した。両試験構造に,入射ベータ粒子が通信の超広帯域(UWB)範囲に拡張した周波数成分をもつRFスペクトルを固有に伝送することにより,アバランシェ駆動微小放電パルスを誘起する,高電界で充満ガス領域をバイアスする電極を用いた。ベータ放射線の感知方法と放電に基づく無線信号伝送に影響する因子について述べた。その試験構造の作製プロセスおよび端子電流の有線測定とその伝送スペクトルの無線測定を含む実験結果を詳述した。電極材(NiとCu),電極ギャップ,充満ガス型(典型的にNe/N²混合ガス)と動作圧力など,試験構造の構造変数の動作電圧と無線信号伝送への影響を評価した。弱(0.1~1.0μCi)(Ci:キュリー単位)ベータ源(⁹⁰Srと²⁰⁴Tl)近傍で試験を行った。両タイプの試験構造は,>1GHzのUWB信号全域を発生できた。諸受信アンテナを用いた無反響室内での測定により,試験構造から1.67mで測定した結果,微小放電は最大90dB・μV/mの電界強度を発生できることを示した。

シソーラス用語： *無線伝送 ,  *気体放電 ,  *広帯域 ,  *β粒子検出 ,  *信号伝送 ,  テスト構造 ,  マイクロマシニング ,  放射線モニタリング ,  放電ギャップ ,  エッチング ,  積層構造 ,  電極材料 ,  受信アンテナ ,  電界強度 ,  無響室

分類 (2件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  放電一般  (BJ03010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小 ,  放電 ,  放射線検出 ,  無線 ,  信号伝送