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J-GLOBAL ID：201002247962484695   整理番号：10A0938548

表面トポグラフィの測定技術と表面性状評価 光学式輪郭測定技術を用いた工業表面のトポグラフィ測定

著者 (1件)： 深津拡也 (東京都産業技高専)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 9  ページ： 995-998  発行年： 2010年09月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では標題のトポグラフィ測定法に関して,これまでに市販された光学式測定機の特徴と留意点について解説した。主な内容項目を次に示した。1)概要:光学式測定機に期待される特性と課題,2)光学式測定法の制限および問題点:開口数(NA)と光源の波長の影響(対物レンズのNAと横分解能および作動距離の関係),光源の干渉性の影響(放電加工面からのスペックルパターン),3)光学式測定法の分類と仕様:表面トポグラフィ測定の測定方式による分類,走査方式に着目した分類,各測定法の主な仕様(面測定と点測定の方式,測定範囲および垂直分解能),4)主な光学式測定法の特徴と留意点:干渉方式(位相シフト法(PSI),トワイマングリーン型位相シフト干渉計の構成,Z走査型白色干渉法(CSI),Z走査型白色干渉計の構成と測定原理,デジタルホログラフィ法),焦点検出方式(共焦点法,色収差共焦点法,オートフォーカス型ナイフエッジ法,焦点移動法とこれらの構成および測定原理)など。

シソーラス用語： *トポグラフィー【形態】 ,  *光学的測定 ,  *形状測定 ,  *輪郭 ,  干渉測定 ,  開口数 ,  波長依存性 ,  位相シフト ,  干渉計 ,  色収差 ,  スペックル
準シソーラス用語： *表面トポグラフィー ,  *表面形状

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 表面トポグラフィ ,  表面性状 ,  評価 ,  光学 ,  輪郭 ,  工業 ,  トポグラフィ