文献

J-GLOBAL ID：201002248239142774   整理番号：10A1486133

電子ビームにより選択的に処理したサファイア基板上のGaN溝の微細加工

Microfabrication of GaN groove on sapphire substrate treated selectively by electron-beam

著者 (6件)： MATSUMURA H ,  SUMIYA M ,  KAWAI Y ,  TOMIKI M ,  MURAKAMI K ,  FUKE S
資料名： PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 3, NO 6
巻： 3  号： 6  ページ： 1649-1652  発行年： 2006年 
JST資料番号： O5361A  ISSN： 1610-1634  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子ビーム ,  サファイア基板 ,  GaN ,  微細加工