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J-GLOBAL ID:201002248669347582   整理番号:10A0366281

微細マルチホール指向性Langmuirプローブを使用するイオン流の自己較正測定

Self-Calibrated Measurement of Ion Flow Using a Fine Multihole Directional Langmuir Probe
著者 (6件):
資料名:
巻: 49  号: 3,Issue 1  ページ: 036101.1-036101.6  発行年: 2010年03月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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微細マルチホール指向性Langmuirプローブ(FM-DLP)がイオンマッハ数を測定するために開発され,電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマで試験されてきた。FM-DLPは従来の指向性Langmuirプローブ(DLP)に使用されたものと同じ方法でイオンマッハ数を測定することができる。さらに,FM-DLPの感度はイオン飽和電流を集めるホールのアスペクト比を変えることによって従来のDLPと比べてほとんど二倍高い。それはまた,FM-DLPの電子飽和電流がイオン飽和電流のレベルまで著しく減少させられることが見出される;それゆえ,FM-DLPの電流-電圧特性は放出プローブのそれに類似しており,それはFM-DLPの放出プローブ状関数を示唆する。筆者らは,FM-DLPがプラズマポテンシャルを測定できることを示す。それは他の診断ツールなしに較正ファクタを決定することを可能にする。それゆえ,FM-DLPはイオン流の測定のための自己較正能力をもつと結論される。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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イオンとの衝突・散乱 

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