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J-GLOBAL ID:201002249456772626   整理番号:10A1032374

キレート剤としてEDTAを用いた高分子前駆体由来のナノ結晶ZnO薄膜

Polymeric precursor derived nanocrystalline ZnO thin films using EDTA as chelating agent
著者 (6件):
資料名:
巻: 94  号: 12  ページ: 2351-2357  発行年: 2010年12月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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高品質のナノ結晶酸化亜鉛薄膜の合成を示した。亜鉛カチオンのキレート剤としてEDTAを使った新しい高分子前駆体方式を開発した。合成した高分子前駆体は表面処理した基板の上にスピンコートし,温度を変えて焼鈍した。酸化亜鉛膜の特性に対する300~600°Cでの焼鈍の影響を調べた。表面形態・平均結晶サイズ・結晶化程度・光学特性も調べた。XRDによると,この酸化亜鉛薄膜は(200)面に沿ったテクスチャーを持つ多結晶である。薄膜は厚く均質な微細構造を持ち,吸収端は375nmにあり,可視光領域の透光度は85%である。酸化亜鉛膜の光バンドギャップエネルギーは焼鈍によって赤にシフトする。この膜の室温光ルミネセンススペクトルは焼鈍によって強い紫外線放射を示す。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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