文献

J-GLOBAL ID：201002249564105733   整理番号：10A0884363

高温用温度補償型の窒化アルミニウムLamb波共振器

Thermally compensated aluminum nitride Lamb wave resonators for high temperature applications

著者 (6件)： LIN Chih-ming (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA) ,  YEN Ting-ta (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA) ,  FELMETSGER Valery V. (OEM Group Inc., Gilbert, Arizona 85233, USA) ,  HOPCROFT Matthew A. (Berkeley Sensor and Actuator Center, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA) ,  KUYPERS Jan H. (Berkeley Sensor and Actuator Center, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA) ,  PISANO Albert P. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 97  号： 8  ページ： 083501  発行年： 2010年08月23日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温で使用する窒化アルミ(AlN)Lamb波共振器の温度補償について,AlN/SiO₂多層膜を使った共振器を設計・製作し,その特性を評価した。二酸化Si(SiO₂)の補償層を加える事により,正規化AlN膜厚(h_AlN/λ)と正規化SiO₂膜厚を変化させて転換温度を高温動作向きに設計可能である。700°Cまで使用可能な共振器の電極用金属材料にはPtを使用し,異なる正規化AlN層厚と正規化SiO₂層厚によるLamb波共振器の完全な温度補償が,214°C,430°C,542°Cで達成された。この結果は高温での周波数制御やセンシング分野に於けるAlN/SiO₂複合構造の温度補償型Lamb波共振器の可能性を示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *Lamb波 ,  *共振器 ,  化合物半導体 ,  *酸化ケイ素 ,  *多層膜 ,  膜厚 ,  電極材料 ,  *温度補償 ,  *複合体

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 温度補償 ,  窒化アルミニウム ,  Lamb波 ,  共振器