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J-GLOBAL ID：201002249781206254   整理番号：10A0858086

セラミックスのトライボロジー セラミックス硬質薄膜の特性評価

著者 (2件)： 岩井善郎 (福井大 大学院工学研究科) ,  松原亨 (マコー)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 55  号： 8  ページ： 556-562  発行年： 2010年08月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では,PVD,CVDのドライプロセスによる厚さ10μm程度までのセラミックス硬質薄膜の特性評価手法とその結果,さらに耐摩耗性や表面強度のマイクロ・ナノスケールの評価法として新しく提案された微小な固体粒子の投射を利用した方法によるセラミックス硬質薄膜や現在注目度の高いDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の特性評価結果について解説した。主な内容項目を次に示した。1)薄膜の評価法:硬さとヤング率,密着性,摩擦摩耗の特性,新たに提案されている評価法(引張試験法,マイクロエッジインデント法,原子間力顕微鏡による試験法など),2)アブレシブ摩耗とエロージョンを利用した評価法:アブレシブ摩耗の利用(マイクロアブレーション法,マイクロアブレーション試験の摩耗係数とスクラッチ試験の臨界荷重の関係,ディンプルグラインディング法,膜厚が異なるTiN/TaN多層膜のエロージョン抵抗とアブレーション抵抗および硬さとの関係),エロージョンの利用(ガス加速によるエロージョン試験装置,遠心力を利用した円板式エロージョン試験装置,薄膜の50%が脱落するのに要した投射粒子量およびそれらと薄膜の硬さとの関係),3)MSE(マイクロスラリージェットエロージョン)評価法:MSE試験装置(MSE法の原理,試験装置の構成),MSE法による摩耗曲線(基材(HSS)と各種薄膜の摩耗曲線),TiC/TiN二層膜の評価と表面から深さ方向の特性の推測(CVD-TiC/TiN二層膜の表面からの深さに対する摩耗率と粗さの変化),DLC膜の評価(バイアス電圧が異なるDLC膜の摩耗曲線)など。

シソーラス用語： *セラミック被覆 ,  皮膜 ,  セラミック膜 ,  *トライボロジー ,  摩耗特性 ,  摩擦 ,  *DLC膜 ,  *キャラクタリゼーション ,  スラリー ,  アブレシブ摩耗 ,  エロージョン腐食 ,  摩耗試験 ,  摩耗率 ,  硬度 ,  Young率 ,  密着性 ,  試験装置 ,  炭化チタン ,  チタン化合物 ,  *硬質皮膜 ,  摩擦特性 ,  窒化チタン ,  機械的性質 ,  性質
準シソーラス用語： マイクロスラリージェットエロージョン

分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  セラミック材料試験  (HB04000M) ,  潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (24件)：

• 超微小負荷硬さ試験方法. 日本工業規格JIS Z 2255. 2003
• 伊藤. 月刊トライボロジー. 2009, 258, 52
• ドライコーティング膜の欠陥評価試験法. 日本機械学会基準JSME S010. 1996
• ガラスを基板とした薄膜の付着性試験方法. 日本工業規格JIS R 3255. 1997
• 榎本. 薄膜トライボロジー. 1994, 156

タイトルに関連する用語 (4件)： セラミックス ,  トライボロジー ,  硬質薄膜 ,  特性評価