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J-GLOBAL ID：201002249781575519   整理番号：10A0863672

最小侵襲性光音響イメージング用小型容量微細加工超音波トランスデユーサアレイ

A Miniature Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Array for Minimally Invasive Photoacoustic Imaging

著者 (3件)： CHENG Xiaoyang (Univ. New Mexico, NM, USA) ,  CHEN Jingkuang (Univ. New Mexico, NM, USA) ,  LI Chuan (National Central Univ., Jhongli City, TWN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19  号： 4  ページ： 1002-1011  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最小侵襲性光音響イメージング(PMI)用小型容量微細加工超音波トランスデユーサ(CMUT)アレイを開発した。2層ポリシリコン表面微細加工プロセスおよび薄型プローブ中にシリコン基板を成形するための両面深堀りシリコンエッチングを用いて,この素子を作製した。圧電型超音波トランスデユーサより広音響帯域幅と侵襲性用に適した小型プローブ内微細加工の容易性に加えて,シリコン系CMUTはPAI用として追加の大きな利点がある。CMUTのシリコンと誘電膜は,近赤外線(NIR)に対し比較的透明であり,赤外線照射装置内圧電型超音波トランスデユーサに関連したシャドーイング問題を回避することができた。光音響プロセス中超音波信号を受信するため,面積2.8~5mm×8~18mmと厚さ100μmを測定した小型シリコンバー(棒)上に,2次元CMUTアレイを集積化した。これらの生体適合CMUTプローブは,顕著な組織の崩壊なしに,血管を含む生体組織または器官内への移植/配置に適し,モニタリングする組織/器官の近接部位から比較的弱い超音波信号を検出することができた。微細加工した46μm直径の1.0μm厚ポリシリコン膜を用いた円形CMUT素子は,PAIに適した116%の比音響帯域幅で5.0MHzの中心周波数を示した。小型CMUTプローブを用いたエビの神経索のPAIを示した。得たエビの神経索像に基づき,今後の生体医学応用用固体モデルを確立した。

シソーラス用語： *超音波変換器 ,  *マイクロマシニング ,  *生体画像 ,  光音響効果 ,  静電容量 ,  表面加工 ,  エッチング ,  ケイ素 ,  圧電素子 ,  誘電体薄膜 ,  ポリシリコン ,  低侵襲手術 ,  *画像診断 ,  光吸収
準シソーラス用語： 光音響イメージング

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 侵襲性 ,  光音響イメージング ,  微細加工 ,  超音波