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J-GLOBAL ID：201002249899733992   整理番号：10A0654358

長期安定性に優れる高性能CNT薄膜トランジスタの作製 従来法に比べ易動度は桁違い(8.2cm²/Vs),強固な共有結合で環境に対して極めて安定

資料名： JETI  (JETI)
巻： 58  号： 6  ページ： 62-64  発行年： 2010年06月16日 
JST資料番号： F0013B  ISSN： 0289-4343  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜トランジスタ(TFT)はガラス基板上にアモルファスシリコンなどを蒸着した電子デバイスで,パソコンや薄型テレビの液晶ディスプレイに汎用する。従来のインクジェット印刷技術を改良し,低濃度のCNT(カーボンナノチューブ)を用いた高精度の膜密度制御法で薄膜トランジスタを開発した。インクジェット印刷は必要箇所に微小液滴を滴下する印刷技術で,カーボンナノチューブは炭素で構成する直径が数ナノメートルの円筒形物質である。易動度が1.6~8.2cm²/Vsと大きく,10000~100000のオンオフ比を実現した。強固な共有結合で環境に対して極めて安定な為,高性能のトランジスタが作成可能で,化学的安定性や耐熱温度,製造コストが優れる。

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *単層カーボンナノチューブ ,  薄膜成長 ,  *インクジェット印刷 ,  移動度 ,  スイッチング ,  耐熱性 ,  共有結合 ,  環境試験 ,  曲げ強さ ,  強度発現 ,  寿命延長 ,  耐久試験
準シソーラス用語： SWCNT ,  TFT【トランジスタ】 ,  オンオフ比 ,  化学的安定性

分類 (4件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  印刷  (ZA05040A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 長期安定性 ,  CNT ,  薄膜トランジスタ ,  作製 ,  易動度 ,  Vs ,  共有結合 ,  環境