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J-GLOBAL ID：201002250241671592   整理番号：10A0168643

アクティブスクリーンプラズマ窒化 総説

Active screen plasma nitriding-an overview

著者 (1件)： LI C. X. (Smith and Nephew Orthopaedics Ltd, GBR)
資料名： Surface Engineering  (Surface Engineering)
巻： 26  号： 1/2  ページ： 135-141  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： A0614C  ISSN： 0267-0844  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここ数年発展したアクティブスクリーンプラズマ窒化(ASPN)の研究を紹介する。金属スクリーンをカソードとして用いるASPNはステンレス鋼,工具鋼などの鉄鋼製品に適用して,従来の直流プラズマ窒化法よりも,均一性などの表面性が優れた窒化層が得られ,非電導性の酸化物皮膜上にも適用可能の特徴を持っている。窒素の物質移動において,スパッタと蒸着が重要な役割を示すことを示し,最適処理を行うには,スクリーンの材料,バイアス電圧,スクリーンと試料表面との距離などの配慮が実用上重要なことを紹介した。

シソーラス用語： *鋼材 ,  *イオン窒化 ,  カソード ,  スクリーン ,  電圧 ,  *窒化層 ,  超高分子量ポリエチレン ,  *技術展望
準シソーラス用語： バイアス電圧

分類 (1件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (3件)： スクリーン ,  プラズマ窒化 ,  総説