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J-GLOBAL ID：201002250607843090   整理番号：10A0685219

離散トラックパターン媒体用の大容量ジェット-フラッシュインプリントリソグラフィー

High Volume Jet and Flash Imprint Lithography for Discrete Track Patterned Media

著者 (6件)： YE Zhengmao (Molecular Imprints, Inc, TX, USA) ,  RAMOS Rick (Molecular Imprints, Inc, TX, USA) ,  BROOKS Cynthia (Molecular Imprints, Inc, TX, USA) ,  HELLEBREKERS Paul (Molecular Imprints, Inc, TX, USA) ,  CARDEN Scott (Molecular Imprints, Inc, TX, USA) ,  LABRAKE Dwayne (Molecular Imprints, Inc, TX, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7637  ページ： 76371A.1-76371A.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ジェット-フラッシュインプリントリソグラフィー(J-FIL)工程は紫外線硬化レジストの滴下分注を利用して高分解能でパターンを形成する。整列要件が最小であるので,全基板パターン形成工程によりパターン形成媒体等に経済的に応用できる。現在の垂直記録技術を超えた記憶素子の製造に必要な記録密度を得るに必要な特徴サイズ故に,パターン形成媒体は特に意欲を掻き立てる。本論文では,特に蒸気付着層と>300ディスク/hのインプリント性能に重点を置いて,J-FILの応用のための重要な工程を解説した。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *媒質 ,  型 ,  記録密度 ,  磁気ディスク ,  光ディスク ,  *回路パターン形成 ,  記憶素子 ,  接着剤 ,  供給装置 ,  超小形回路技術
準シソーラス用語： *ジェット-フラッシュインプリントリソグラフィー ,  *記録媒体 ,  テンプレート【型】 ,  分注システム

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： トラック ,  媒体 ,  大容量 ,  ジェット ,  フラッシュ ,  インプリントリソグラフィー