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J-GLOBAL ID：201002251260652066   整理番号：10A0686477

プラズマ増強化学蒸着により成長させたダイヤモンド型ナノ化合物薄膜の特性評価

Characterization of diamond-like nanocomposite thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition

著者 (5件)： SANTRA T. S. (Inst. of Nanoengineering and Microsystems (NEMS), National Tsing Hua Univ., Hsinchu, Taiwan 30043, Republic of China) ,  LIU C. H. (Inst. of Nanoengineering and Microsystems (NEMS), National Tsing Hua Univ., Hsinchu, Taiwan 30043, Republic of China) ,  BHATTACHARYYA T. K. (Dep. of Electronics and Electrical Communication Engineering, Indian Inst. of Technol., Kharagpur 721302, West ...) ,  PATEL P. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Illinois at Urbana Champaign, Urbana, Illinois 61801, USA) ,  BARIK T. K. (School of Applied Sciences, Haldia Inst. of Technol., Haldia 721657, Purba Medinipur, West Bengal, IND)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 12  ページ： 124320  発行年： 2010年06月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： a-C:Hとa-Si:Oのネットワークからできたダイヤモンド型ナノ化合物(DLN)薄膜をパイレックスガラス上,あるいはシリコン基板上へ,アルゴンガスと混合したガス前駆体(例えば,ヘキサメチルジシラン,ヘキサメチルジシロキサン,ヘキサメチルジシラザン,あるいはそれらの組合せ)を使い,プラズマ増強化学蒸着法により蒸着した。DLN膜の表面形態は原子間力顕微鏡により分析した。高分解能電子顕微鏡の結果は,膜が非晶質構造内部にナノ粒子を含んでいることを示す。Fourier変換赤外分光法(FTIR),Raman分光法,及びX線光電子分光法(XPS)を使って,DLN膜の構造変化を決定した。膜の硬度と摩擦係数は,各々,ナノインデンテーション及び引掻き試験法により測定した。FTIRとXPSにより,a-C:Hとa-Si:OのネットワークにC-C,C-H,Si-C,及びSi-H結合が存在することを示した。Raman分光法を使って,DLN膜の硬度は強度比I_D/I_Gと共に変化することも見いだした。最後に,高い硬度,高い弾性率,低い表面粗さ,及び低い摩擦係数のため,DLCに比べてDLN膜が良好な性能を持っていることが観測された。これら特性はミクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)と出現し始めているナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)の重要な部品になる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *炭素材 ,  *アモルファスシリコン ,  水素化 ,  酸素 ,  ドーピング ,  *プラズマCVD ,  表面性状 ,  原子間力顕微鏡 ,  高分解能電子顕微鏡 ,  ナノ粒子 ,  化学結合 ,  FTIR分光法 ,  Raman分光法 ,  X線光電子分光法 ,  硬度 ,  摩擦係数 ,  表面粗さ ,  弾性係数 ,  MEMS
準シソーラス用語： *非晶質炭素 ,  NEMS

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (3件)： ヘキサメチルジシラン ,  ヘキサメチルジシロキサン ,  ヘキサメチルジシラザン

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ増強化学蒸着 ,  成長 ,  ダイヤモンド ,  化合物薄膜 ,  特性評価