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J-GLOBAL ID：201002252062676983   整理番号：10A0247122

防着板用新溶射材の開発

著者 (2件)： 門脇豊 (アルバック) ,  虫明克彦 (アルバック・コーポレートセ)
資料名： ULVAC Technical Journal  (ULVAC Technical Journal)
号： 72  ページ： 25-29  発行年： 2010年02月26日 
JST資料番号： L3761A  ISSN： 0910-6189  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大画面薄型テレビの普及に伴い,パネルの価格が低下してきており,コストダウンの波はスパッタ装置の製造だけでなく,装置に取り付けられた防着板の洗浄サービスにも及び,工程の簡略化と作業時間の短縮が求められてきた。このような状況において,著者らは新しい溶射膜合金を開発することにより,温水を用いる洗浄方法を提案し,前述の要件を満たすとともに,防着板の長寿命化,スパッタ膜の板状での回収,排水処理の解消などを実現することができた。この新しい洗浄法の元となった新溶射材の概要を紹介した。

シソーラス用語： *溶射 ,  材料 ,  パネル ,  板 ,  *スパッタリング装置 ,  アルミニウム合金 ,  スパッタ【欠陥】 ,  膜
準シソーラス用語： *溶射材料 ,  液晶パネル ,  防着板 ,  成膜 ,  *溶射膜 ,  スパッタ膜

分類 (1件)： 溶射  (WC08030N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 防着板 ,  溶射材 ,  開発