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J-GLOBAL ID：201002252128496205   整理番号：10A0346801

レーザー微小加工の工程制御のための光学コヒーレンス断層撮影法

Optical coherence tomography for process control of laser micromachining

著者 (5件)： WIESNER Markus (Laser-Laboratorium Goettingen e.V., Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, D-37077 Goettingen, DEU) ,  IHLEMANN Juergen (Laser-Laboratorium Goettingen e.V., Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, D-37077 Goettingen, DEU) ,  MUELLER Heike H. (Inst. of Biomedical Optics, Univ. of Luebeck, Peter-Monnik-Weg 4, D-23562 Luebeck, DEU) ,  LANKENAU Eva (Inst. of Biomedical Optics, Univ. of Luebeck, Peter-Monnik-Weg 4, D-23562 Luebeck, DEU) ,  HUETTMANN Gereon (Inst. of Biomedical Optics, Univ. of Luebeck, Peter-Monnik-Weg 4, D-23562 Luebeck, DEU)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 81  号： 3  ページ： 033705  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 摩耗レーザー加工処理前,処理中そして処理後の光学コヒーレンス断層撮影法(OCT)による非破壊評価(NDE)のためのその場表面画像化を紹介する。さらに,その場特性評価の能力が光ファイバーのような試料にとって利益があることを示した。光ファイバーは標準的解析で扱うのが困難である。OCTで撮影した表面画像を走査型電子顕微法(SEM),反射光および共焦点顕微鏡法のような一般的解析ツールと比較した。表面検出に対して約126nmの軸方向分解能そして2.5μmより小さい横方向分解能が得られ,高アスペクト比をもつ構造をこの構成が画像化できることを証明した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *画像診断 ,  *トモグラフィー ,  *レーザ加工 ,  レーザビーム ,  *光ファイバ
準シソーラス用語： *断層撮影

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザー ,  微小加工 ,  工程制御 ,  光学 ,  コヒーレンス ,  断層撮影法