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J-GLOBAL ID:201002252271373050   整理番号:10A0794030

新しいハイブリッドシリコン-レジン高密度配線(HDI)基板の実証

Demonstration of a Novel Hybrid Silicon-Resin High Density Interconnect (HDI) Substrate
著者 (5件):
資料名:
巻: 60th Vol.2  ページ: 816-821  発行年: 2010年 
JST資料番号: H0393A  ISSN: 0569-5503  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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高密度マルチチップモジュール(MCM)は,何年にも渡って小型化を実現してきたが,次世代のMCMとして高密度配線(HDI)の1つである統合超高密度(iUHD)配線がある。本稿では,パッケージの熱設計に対する小型化の影響とiUHDのハイブリッドシリコン/封止材料基板に起因した熱機械的応力を研究した。1次元熱解析,有限要素モデリングのシミュレーションにより,iUHDは接合-ボード間の熱抵抗をDraperのMCMに対し31%低減すること,通常のボールグリッドアレイ(BGA)に対し2~15倍改善することを明らかとした。また,低膨張封止材料を使用することで,基板に熱機械的に生じる応力が密着強度の測定値の少なくとも4倍以上小さくなった。これは熱サイクル後に機械的な不良が無くなった結果と一致した。
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