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J-GLOBAL ID：201002252602495991   整理番号：10A0356137

レーザ穴明けにおける加工部強度分布の最適化

Optimization of Intensity Distribution in Laser Drilling

著者 (1件)： 森貞雄 (呉工高専)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 4  ページ： 415-419  発行年： 2010年04月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではコヒーレントな光源と有限の開口のみを仮定し,特定の光学系を想定することなく加工ビームの強度分布を最適化した。本報ではプリント基板穴明けなどに用いられる転写光学系で現実の有限な大きさをもつレンズを使用し,加工部でのビーム形状(軸対称)を最適化する手法を検討した。これにより得た主な知見を次に示した。1)加工部の最適化ビーム形状が有限な開口をもつレンズで実現可能な条件は,複素振幅の空間角周波数ρが,レンズの半径をr_lenz,波長をλ,レンズから加工面までの距離をl₂としてr_lenz/λl₂以下であること,2)最適化ビームの位相は加工部では一定であること,3)倍率m(<1)の転写光学系で最適化ビーム形状を実現するには,最適化ビームの振幅分布u₀(x₀,y₀)をl₁/l₂倍伸張し,位相項exp(-ik(x₂²+y₂²)/2l₁)を付加したものをマスク部で実現すればよいこと,4)上記の結果は数値計算によるので,今後,実験により確認する必要があること。

シソーラス用語： *レーザ穴あけ ,  *レーザビーム ,  *プリント基板 ,  *バイアホール ,  形状最適化 ,  加工面 ,  強度 ,  Bessel関数 ,  Fourier級数 ,  *最適化手法 ,  解析モデル ,  数値解析 ,  *強度分布 ,  改変

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (11件)：

• 1) 磯圭二:CO₂/UV レーザドリル微細加工, 精密工学会第289回講習会「新ものづくり時代を切り拓くレーザ加工技術」テキスト, (2003), 15 (in Japanese).
• 2) D. Shafer : Gaussian to flat-top intensity distributing lens, Optics & Laser Technology, <b>14</b> (1982) 159.
• 3) K. Ebata, M. Shiozaki et. al. : Characteristics Of ZnSe Aspheric Beam Shaper for CO₂ laser, Proceedings of SPIE, 4443 (2001) 125.
• 4) S. Noguchi and E. Ohmura : Analysis on resin removal in laser drilling of printed circuit board considering diffraction in image formation optical system, J. Jpn. Soc. Precis. Eng. 71, 10 (2005) 1296 (in Japanese).
• 5) 村田和美:光学, サイエンス社, (2002) 85 (in Japanese).

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ穴明け ,  加工部 ,  強度分布 ,  最適化