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J-GLOBAL ID：201002252704845040   整理番号：10A0839585

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第2報)-試作した測定システムの評価実験-

Development of a System to Measure Micro Hole Form Accuracy Using an Optical Fiber Probe (2nd Report)-Evaluation of a Prototype of the Measuring System-

著者 (6件)： 村上洋 (鹿児島大) ,  甲木昭雄 (九大) ,  鬼鞍宏猷 (九大) ,  佐島隆生 (九大) ,  皮籠石紀雄 (鹿児島大) ,  近藤英二 (鹿児島大)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 8  ページ： 950-954  発行年： 2010年08月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,直径100μm以下の微小径穴内壁の表面粗さや真円度,真直度,円筒度などの形状精度,穴径をプローブの測定分解能0.01μm以下および形状測定の繰り返し誤差±0.05μm以下で高精度に測定することを目的とし,微小径・低測定力・高アスペクト比のプローブが容易に得られ,測定範囲が広く走査プローブとして利用可能な光ファイバを用いた新しい測定原理を提案した。本報では,試作した測定装置の繰り返し性などの性能評価を目的として,標準粗さ片および加工した直径100μmの微小径穴を測定した。これにより得た主な知見を次に示した。1)標準粗さ片を10回繰返し測定した結果,繰り返し誤差はタッチトリガーモードで最大±0.1μm,スキャニングモードで最大±0.03μmであること,2)直径100μmの小径穴をスキャニングモードで10回繰返し測定した結果,繰り返し誤差は最大で±0.03μmであること,3)標準粗さ片の全く同一箇所の測定ではないため,詳細な比較はできないが,本測定システムと市販の表面粗さ測定器により標準粗さ片を測定した結果は山の波長や形状および振幅の絶対値に関して同様の傾向を示すこと。

シソーラス用語： *計測システム ,  *細孔 ,  微細構造 ,  *光ファイバセンサ ,  細孔径 ,  *形状測定 ,  半導体レーザ ,  測定精度 ,  表面粗さ ,  真円度 ,  真直度 ,  再現性 ,  *性能評価 ,  スルーホール ,  形状精度

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (16件)：

• 1) 丸山 六男 : 光学的方法による小穴内径測定装置の開発, 精密工学会誌, 62, 1 (1996) 145.
• 2) 秋山 伸幸, 北野 哲彦, 吉田 昌弘, 藤本 頴助, 幸平 博喜, 福島 忠雄 : 微小径深穴用光学式内径測定装置の開発, 精密工学会誌, 62, 4 (1996) 584.
• 3) T. Masuzawa, Y. Hamasaki, M. Fujino : Vibroscanning Method for Nondestructive Measurement of Small Holes, Annals of the CIRP, 42, 1 (1993) 567.
• 4) T. Masuzawa, B. J. Kim, C. Bergaud, M. Fujino : Twin-Probe Vibroscanning Method for Dimensional Measurement of Microholes, Annals of the CIRP, 46, 1 (1997) 437.
• 5) 山本 正樹,山口 恵作,青木 新一郎 : バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発, 精密工学会誌, 67, 2, (2001) 251.

タイトルに関連する用語 (7件)： 光ファイバプローブ ,  小径 ,  形状精度 ,  測定システム ,  開発 ,  試作 ,  評価実験