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J-GLOBAL ID:201002253269461401   整理番号:10A1126584

フォノニック結晶スラブ導波路を用いる支持部ロスのないマイクロ/ナノ機械的共振器

Support Loss-free Micro/Nano-mechanical Resonators using Phononic Crystal Slab Waveguides
著者 (3件):
資料名:
巻: 2010  ページ: 521-523  発行年: 2010年 
JST資料番号: C0958A  ISSN: 1075-6787  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フォノニック結晶(PnC)構造で得られる最も重要な特性は,完全なフォノニックバンドギャップ(CPnCBGs)を達成し得ることである。CPnCBGsは,その中ではどんな弾性波の伝搬も禁制される周波数領域である。CPnCBGsは,弾性波の反射,導波,フィルタリング,多重化および逆多重化を含めた種々の機能を実現する基礎となり得る。そのような機能はPnC構造の一部を修飾することによって得られる。PnCスラブの上部および下部の空気がPnCスラブ内の弾性エネルギーが基材中へ漏れるのを分断する。それ故PnCスラブにおける弾性波の損失は,弾性表面波(SAW)ベースの2次元PnC構造よりも大幅に低くなる。2次元の周期性および有限厚さをもつマイクロマシン化されたPnC構造を大きなCPnCBGsを所有するために開発した。この構造は,非常に高い周波数の機械的振動を制限するのに非常に効果的であることを示した。従来のPnC構造を持つ高-Qマイクロ/ナノ-機械的(MM)共振器を支持する構造を置きかえることにより,共振器における指示損失を押さえることができる。この論文では,フォノニック結晶導波路を用いることにより,誤りのない広いスペクトル領域を持つ支持部ロスのないマイクロ/ナノ-機械的共振器を得ることができる。
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分類 (1件):
分類
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共振器 

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