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J-GLOBAL ID:201002253351544404   整理番号:10A0362739

低温CVI(化学蒸気浸透)法を用いた無欠陥γ-Al2O3膜上の高選択性シリカ膜調製

Preparation of highly selective silica membranes on defect-free γ-Al2O3 membranes using a low temperature CVI technique
著者 (8件):
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巻: 132  号: 1-2  ページ: 276-281  発行年: 2010年07月 
JST資料番号: E0642C  ISSN: 1387-1811  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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孔サイズを小さくしガス分離性能を向上させるため,実験室製造γ-Al2O3膜に低温(250°C)CVI(化学蒸気浸透)法を適用した。He,H2,N2,CO2,C3H8を用い,浸透と選択透過性の面から,改質前後の膜を特性化した。パームポロメトリー法により,膜の多孔性構造を研究した。γ-Al2O3膜は無欠陥で,狭い孔サイズ分布を持つが,Knudsen拡散機構の特徴である低選択透過性を示す。CVIシリカ膜の孔サイズは,250°C下,同時の浸透減少と顕著な選択透過性改善(H2/N2:27.8,H2/CO2:81,He/N2:19.4,H2/C3H8:>150)と共に,マイクロ多孔性系まで減った。ゾル-ゲルγ-Al2O3でのCVI法は,利用可能な封止法が使える低温(250°C)下のH2選択性シリカ膜生成で有効な方法を提供した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (4件):
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合成鉱物  ,  酸化物薄膜  ,  膜分離  ,  各種物理的手法 

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